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三氟化氯(chlorine trifluoride)是無機化合物 ,分子式為ClF?,分子量為92.45。有毒,有強腐蝕性,常溫下為無色氣體,降溫變為綠色液體。

可用作氟化劑、燃燒劑、推進劑中的氧化劑、高溫金屬的切割油等。在半導體工業中,三氟化氯被用于清潔化學氣相沉積的反應艙。它具有不需拆卸反應艙就可以清除艙壁附著的半導體物質這一優點。與其它代替的清潔劑不同,三氟化氯在使用前不需經過等離子體激化,因為反應艙殘存的熱量就足以使它分解并與半導體材料反應。

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